PACVD также известен как PECVD (ионно - усиленное осаждение в газовой фазе). 

 Ионно - усиленное химическое осаждение в газовой фазе PACVD представляет собой аморфное твердосплавное покрытие из алмаза с чрезвычайно гладкими и хорошо прилипающими свойствами в условиях высокой вакуумной среды при температуре ниже 200°C.  Относительно процесса PVD, процесс PaCVD применяется с глубоким покрытием источника питания, без катодной мишени, в то время как детали не требуют вращения в печи, процесс является чистым без загрязнения, надежным и многофункциональным процессом покрытия. 

Ионно - усиленное химическое осаждение в газовой фазе PACVD представляет собой аморфное твердосплавное покрытие из алмаза с чрезвычайно гладкими и хорошо прилипающими свойствами в условиях высокой вакуумной среды при температуре ниже 200°C.